中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30160 #293664963 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30160は、複数のプロセス技術（蒸着およびプラズマエッチング）を単一の基板加工装置に組み合わせる熱真空プロセス反応チャンバー&ボートです。それは洗練された温度調整、ガス配達およびプラズマ源の技術が付いている堅牢な真空の部屋から成っています。AMAT 0010-30160は反応室の可視内部上の均一な温度分布のための高度のpyrometryシステムを特色にするホットゾーンの特徴によって精密な熱制御を可能にします。APPLIED MATERIALS 0010-30160には、長期にわたって均一な温度制御を保証するように設計された高度な低圧ユニットが装備されています。その効率的な高真空機は、基板沈着率を最大化し、チャンバーの表面の汚染を低減するように設計されています。また、効果的なインラインプラズマ源は、低電力転送率でソリッドステートかつ効率的に設計されています。反応チャンバーには加熱されたサセプターが含まれており、リニアトラックと輸送テーブルに設定されているため、チャンバー内で自動的に移動できます。これにより、チャンバーから基板を手動で除去することなく、原子炉材料を効率的に変更することができ、表面への損傷のリスクを低減します。反応チャンバには、高速スイッチング圧力制御バルブと高出力ヒーターも含まれており、チャンバーの圧力と温度を所望のレベルに迅速かつ効率的に持ち込むことができます。また、0010-30160は、内部温度制限を超えるチャンバーのリスクを低減するアクティブ冷却機能を可能にします。このチャンバーには、精密な量のリアクタントをチャンバーに正確に注入することができる統合ガス供給ツールも装備されています。その結果、チャンバーの環境を正確に測定して監視することができれば、正確な結果を得るために確実に制御することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30160は、従来の製造方法と比較して性能と歩留まりを向上させるため、半導体デバイス製造に最適です。また、素材が正確に付着して半導体の製造に理想的なツールとなることを保証しながら、高速処理を可能にします。複数の加工技術をすばやく切り替えることができるため、調理器の利便性が高まり、複雑な構造を作成するための効果的なツールになります。