中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30125 #9277735 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30125は、薄膜の迅速かつ精密な堆積に使用される高速反応チャンバーです。これは、化学ガスとエネルギー源の混合物を利用して、均一性、光学および電気特性などの薄膜の望ましい特性を生成します。この原子炉室は、費用対効果の高いプロセスのために特別に設計されており、面積あたりの低コスト蒸着率を可能にします。原子炉室はステンレス鋼で構成され、耐温性の高いハウジングを提供します。不活性ガスブランケットシステムは、運転中の安定性を維持し、不要な酸化および汚染を防ぐために存在します。さらに、真空ポンプはチャンバーから空気を引き出し、反応のための所望の圧力を可能にします。このチャンバーは通常、作動中に650°Cまで加熱され、反応プロセスをさらに支援します。このチャンバーの中心にある主な要素は、ウエハヒーター、誘導結合プラズマ、（ICP）発電機、シャワーヘッド、高周波、および低周波高電圧発電機、および関連する電極、コイル、およびガスラインです。ウェーハヒーターはウェーハ上で均一な温度を維持し、誘導結合プラズマ発生器は正の荷電イオンと電子の均一なプラズマを生成します。シャワーヘッドはプラズマをウェーハに向けます。この過程で、高周波および低周波発電機は電極に電気エネルギーを供給し、プラズマ粒子とのカスケード化反応をもたらします。望ましい銅の薄膜が堆積すると、ガスと電気エネルギーを遮断することができ、ウェーハ処理の急速な回転を可能にします。要約すると、AMAT 0010-30125は、効率的かつ費用対効果の高い方法で薄膜を迅速に蒸着するために設計された高速反応チャンバーです。そのコンポーネントは、プラズマ、電気エネルギー、および温度制御されたガスを含むカスケード化反応により、精密で制御可能な薄膜蒸着を可能にするために組み合わされています。