中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #9026410 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094は、ドライエッチング、蒸着、酸化などの基板加工用途向けに設計された精密原子炉です。AMAT 0010-30094は、2つの独立した真空ポンプを備えた特別に設計されたデュアルステージ真空チャンバーを使用して、信じられないほど高い真空を達成します。この効果は、比類のない結果をもたらす均一で正確なプロセス環境です。直径550mmのチャンバーは、基板全体に沿って均一な処理を行うバランスのとれたリニアエネルギー分布を持っています。これにより、エッチング率が向上し、ウェハ全体の均一性が向上します。さらに、このチャンバーには、プロセス温度を正確かつ効果的に制御するための組み込み冷却装置が装備されています。APPLIED MATERIALS 0010-30094は、デュアルステージ真空チャンバーに加えて、さまざまな加工ニーズに対応する多数のオプションコンポーネントを備えています。ガスデリバリーシステムを設置して、プロセスのガスをチャンバーに供給し、圧力と流量を監視することができます。これにより、プロセスの各ステップが適切な化学環境下で行われるようになります。基板の積み降ろしには、自動ウェハ搬送ユニットを実装することもできます。この機械は、より複雑なプロセスを実行するためにチャンバー間の基板を移動するために使用することができます。0010-30094には、リアルタイムエッチング、蒸着、および温度プロセスで監視する診断ツールも装備できます。この診断アセットは、圧力および温度センサだけでなく、Eビームおよびイオン化ゲージを使用してチャンバーの状態を監視します。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094は、高精度を必要とする特殊加工に最適な原子炉です。この洗練された原子炉は、最先端の技術とプロセスを使用して信頼性の高い結果をもたらし、ユーザーはプロセスをより大きな制御することができます。基本エッチングから複雑な成膜まで、AMAT 0010-30094は最高の性能と信頼性をユーザーに提供します。