中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #293658018 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094リアクターは、基板上の薄膜の堆積に使用される高効率で汎用性の高いツールです。この原子炉は、金属-有機化学蒸着（MOCVD）装置であり、化学反応を利用して材料の層を基板に作成して堆積させることを意味します。リアクターは、複数の構成オプションを備えたマルチチャンバーシステムで構成されており、基板コーティング時の柔軟性を高めます。リアクターのコアは、コーティング用の基板を収容する堆積チャンバーです。この部屋は基質の温度を正確に管理するランプヒーター、水晶ヒーターおよび熱く、冷たい壁を含む多数の暖房源が、装備されています。さらに、チャンバーは、薄膜を形成する化学反応を生成するために必要な電力を適用する送電ユニットと結合されています。蒸着チャンバと外部環境のインターフェースは真空搬送チャンバです。このチャンバーには、望ましい真空圧力と温度範囲を維持するための機械式ブースターポンプと低温冷却機が装備されています。また、トランスファーチャンバーは、蒸着チャンバから冷却および試験のための外部環境への基板の自動移動を可能にします。この原子炉は、ガラス、セラミックス、金属など、さまざまな基板材料で動作するように設計されています。また、450mmまでの大型基板にも対応可能です。これは、一度に複数のターゲット材料の厚い層を堆積することができます、各レイヤーの厚さ10nmまで。蒸着速度は可変で、望ましい層の厚さに応じて設定することができます。さらに、この原子炉は、均一な基板と低い汚染レベルでフィルムを堆積するために、超クリーンな動作のために特別に設計されています。AMAT 0010-30094リアクターは、蒸着プロセスのための優れたツールであり、高精度の制御と汎用性を提供します。光学コーティング、半導体、オプトエレクトロニクスなど、幅広い薄膜用途向けに、高い精度と効率で薄膜を製造することができます。複数の暖房システム、電源供給ツール、真空制御機能により、信頼性が高くユーザーフレンドリーです。