中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293724910 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983は、半導体製造用に設計された反応イオンエッチング（RIE）炉です。原子炉は、4つの異なるチャンバーセクションを利用しています。ガスラインを含む上部セクションは、反応チャンバーに反応材料を供給します。下部には、チャンバーの避難とメンテナンスのための真空マニホールド/ポンプ装置が含まれています。反応チャンバーは密閉され、不活性ガス源が供給されるため、エッチング工程中の環境制御が可能となり、材料の精密エッチングが保証されます。AMAT 0010-27983 RIEリアクターは、室温範囲が50〜400°Cで、ウェーハサイズや形状にも対応可能です。DCからRFまでの電源を正確に調整して、さまざまな材料の正確なエッチング結果を得ることができます。反応室には、反応室に対応するフローコントローラを備えたガスラインを介して反応室に導入し、ガスの混合と圧力を調節することができます。さらに、ロボットアームと連動した自動ウェハハンドリングユニットを搭載し、反応室からウェハーを自動的に取り外すことができます。エッチング精度をさらに向上させるために、ロボットサポート構造、シールド、最適なウェハフォローアップのための調整可能な棚付け位置などの追加のカスタマイズオプションを提供します。APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIEリアクターはモジュラー設計を提供し、既存システムへの容易な統合と生産能力の拡大を可能にします。最適なプロセス性能と信頼性を確保するために、0010-27983原子炉は認証されたISO 9000準拠の品質基準で工場テストされています。さらに、このツールはアップグレードとアップグレードを受け入れるように設計されており、チャンバーサイズの拡張、安全レベルの向上、プロセスフローの改善、および温度安定性の向上を提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIEリアクターは、半導体材料の効率的かつ精密なエッチングのための理想的なツールです。自動化されたウェーハハンドリング、調整可能な棚付け位置とシールド、最適なプロセス性能を保証するモジュール設計など、複数の特殊な機能を備えて設計されています。さらに、この資産は徹底的にテストされ、信頼性と安全性を確保するために品質管理されています。