中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27430 #293777810 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430リアクターは、ユーザーがさまざまな基板を処理できる多目的ツールです。原子炉を開けずに複数の材料を変更できるように設計されています。この独自のリアクティブ機能により、ダウンタイムを発生させることなく、あるプロセスから別のプロセスへの移行が可能になり、スループット容量が向上します。AMAT 0010-27430リアクターは通常、シリコン（Si）ウェーハを処理します。チャンバーは、Si材料が通過するシリコンチューブを含む主要なアルミニウムハウジングを備えています。管状のSiの部屋の中に2つの独立した二重位置の静電チャック、1つは入口のために、1つは工作物の出口のためにあります。チャンバーの一方の端は蓋で密閉され、もう一方の端は開いたままになっています。このチャンバーには、プラズマエッチングや酸化などのさまざまなプロセスに必要なプロセスガスのいくつかが収容されています。APPLIED MATERIALS 0010-27430原子炉の主な特徴の1つは、自己持続的プラズマを作成する能力です。自立型プラズマは、化学蒸着（CVD）やガス強化エッチングなどのプロセスに必要です。プラズマの生成は、ヘリウム、アルゴン、窒素などの触媒ガスからなるガス混合物の使用によって制御され、発生する反応を制御する。これにより、ユーザーは提案されたアプリケーションに必要な条件を適切に調整することができます。0010-27430原子炉のもう一つのユニークな特徴は、室温制御です。これにより、チャンバーはさまざまなプロセスが行われる間、所望の温度範囲内に留まることができます。さらに、プロセスの安定性を確保するために、原子炉にはアクティブなフラックス制御が装備されています。このフラックスコントローラは、圧力と温度の変動によるホットゾーンの乱れを最小限に抑えます。これにより、プロセスの制御と結果の高い再現性が可能になります。複数の材料を処理できるため、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430原子炉は大学、研究機関、産業界に最適です。そのユニークなチャンバー設計とプロセス制御機能により、複数のプロセスと材料の切り替えのための前例のない外観を可能にします。AMAT 0010-27430リアクターの柔軟性により、多くのユニークで革新的なアプリケーションが加速され、ユーザーは目標、要件、期待をすばやく上回ることができます。