中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-23716 #293810760 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-23716リアクターは、エレクトロニクス業界で使用される半導体および金属材料の製造に使用される洗練された装置です。超高真空システムで、10〜7 Torr程度の真空レベルを作り出し、超薄膜の成膜を可能にします。6インチの反応チャンバーを備えたマルチチャンバーユニット、3つの15インチのチャンバーポート、いくつかのプロセスガス、13-Megawatt加熱アセンブリ、およびさまざまな電源およびゲージで構成されています。常温から250°Cまでの加工が可能で、様々な成膜方法が可能です。反応室はステンレス鋼から成り、13MWアセンブリによって加熱され、チャンバー全体に均一な温度分布を作り出します。高圧ガス射出ツールは、均一なガス分布を保証し、エッチングと蒸着の両方のプロセスに使用されます。プロセスごとの速度は可変で調整可能であり、幅広い温度範囲で複雑な構造物を堆積させることができます。3つの15インチチャンバーポートにより、追加のガスおよびプロセス部品を環境に導入できます。これらのコンポーネントには、窓なしのグロー放電バルブ、ウェハオリエンテーションデバイス、および現場検査用の顕微鏡が含まれます。反応室内の環境は原子的にきれいであり、プロセス工程中の汚染のリスクを低減します。この原子炉には、2つの汎用電源、高効率のプログラム可能な電源、およびさまざまなプロセスガスと温度を制御および操作するための追加の電源コンポーネントも含まれています。原子炉内に設置されたゲージは、圧力、温度、ガス組成などのいくつかのプロセスパラメータを監視し、リアルタイムおよび後処理分析を可能にします。AMAT 0010-23716原子炉は半導体産業にとって重要なツールです。優れた真空性能を維持しながら、高度なプロセス制御と精度を提供します。その汎用性と堅牢な構造により、多くの薄膜加工アプリケーションに最適なソリューションとなり、業界にとって貴重なデバイスとなります。