中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21246 #293593053 を販売中

ID: 293593053
ウェーハサイズ: 8"
Heater assembly, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246リアクターは、さまざまな産業で様々な用途に使用されるハイエンドプロセス機器です。円筒形ベースの大きなチャンバースタイルのシステムで、マルチゾーングラファイトマッフル、ガスマニホールド、傾斜るつぼが組み込まれています。この原子炉は、複数のプロセスレシピを同時に生成することができ、温度と圧力の両方の精密制御を提供します。temepratureの精密な制御はデジタル温度調整および活動的な冷やされた水浴の組合せによって高められます。AMAT 0010-21246 Graphite Reactorのアーキテクチャは、プロセスパラメータを正確に制御し、高精度の温度プロファイルで正確なプロセスを設計することができます。マッフル炉に複数の温度帯を使用することで、特定の反応に最適な精密な熱勾配を得ることができます。チャンバー内の高温および圧力を正確に制御することができ、プロセス速度を決定するパラメータを正確に制御することができ、望ましい製品の歩留まりが向上します。応用材料0010-21246グラファイトの炉はグラファイトからなされ、優秀な温度の再現性を提供するマッフル炉に特別な注意を払われて防蝕材料から、組み立てられます。傾斜るつぼは、耐腐食性合金から構成されています。この原子炉には、チャンバーへの高圧および低圧ガスの入力を可能にするガス多様体が含まれており、チャンバー内の大気を正確に制御できます。この原子炉には、自動温度遮断、空気圧モニタリング、および過熱信号からなる統合安全ユニットが装備されています。これらの機能は、リスクを低減し、安全な運用を確保するように設計されています。さらに、原子炉はユーザーフレンドリーに設計されており、可聴アラームとプロセス監視用の視覚インジケータの両方が含まれています。0010-21246グラファイトの炉はいろいろ異なった適用にとって理想的な堅牢な、精密設計された機械です。cVD/PECVDやエッチング/蒸着アプリケーションなど、チャンバー内の温度、圧力、環境を正確に制御する必要があるプロセスに適しています。研究開発でも生産環境でも、AMAT/APPLIED MATERIALTS 0010-21246 Graphite Reactorは信頼性の高い精密設計性能を提供します。
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