中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-17798 #9112022 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-17798は、化学蒸着（CVD）の原理に取り組む原子炉です。材料やフィルムの薄い層を作成するために使用されます。CVDは、原子炉室内に気体前駆体を導入し、反応して基板上に固体材料を形成する技術です。AMAT 0010-17798は、さまざまなCVDプロセスに適した特定の機能を備えて設計されています。原子炉の設計は、詰め替え可能なチャンバー、プロセスタンク、排気で構成されています。詰め替え可能なチャンバーには気体前駆体が、プロセスタンクには基材が含まれています。プロセスタンクでは、ガスと基材が化学反応します。排気は、CVD反応の副産物がシステムから脱出することを可能にします。基板チャンバーは、高温下で機能するように設計されています。それは熱損失を減らし、酸化から容器を保護するためにフェロセラミックライニングによって絶縁されます。詰め替え可能な部屋は有毒な化学薬品の漏出の危険を最小にするために密封され、プロセス条件によってさまざまな化学薬品で満たすことができます。原子炉には、多くの安全機能もあります。システムは、フェイルセーフデバイスと緊急シャットオフスイッチで設計されています。フェイルセーフデバイスは、プロセスに中断があり、緊急スイッチを使用してシステムを手動でシャットダウンすることができる場合にアクティブになります。これらの機能は、プロセスの故障や安全上の危険を防止します。原子炉は柔軟性が高く、多種多様なCVDプロセスに使用できます。低温蒸着、プラズマソリューション、ウェットケミカルプロセスなどのプロセスに使用できます。これにより、さまざまなアプリケーションに対応する多目的で効率的なツールとなります。全体として、アプライドマテリアルズ0010-17798リアクターは、CVDプロセスに不可欠なツールです。それはよく構築され、信頼性が高く、使いやすく、さまざまなCVDプロセスに理想的なツールです。