中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13321W #293658052 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13321Wは、酸化物原子層蒸着、窒化物原子層蒸着、その他の薄膜蒸着プロセスなどの用途向けに設計された超小型プロセスリアクターです。この原子炉は、超薄型、超高純度、均一な材料の層を基板に堆積させることができます。AMAT 0010-13321Wは高級なステンレス鋼から組み立てられ、それを防蝕およびきれいになること容易させます。そのチャンバーは、プロセス全体を通して均一な温度と均一なガス供給を提供するように設計されています。蒸着効率を最大化するために、プロセス温度を0。1°Cの精度に制御することができます。リアクターは外部コントローラで動作するため、操作の柔軟性が得られます。この原子炉のマグネトロン源は、酸化物と窒化物の層を堆積させるのに理想的です。マグネトロンの源は基質の物質的なコーティングの均一な沈着を保障します。また、最大1。6グラムの材料を保持できる水晶ボートを備えており、材料が基板上に均等に分布することを保証します。このシステムの設計により、クォーツボート、マグネトロン源、上部電極などの交換可能なコンポーネントを使用して、メンテナンスが簡単に行えます。反応チャンバーには調整可能なガス供給装置が装備されており、沈着用の前駆ガスの導入が可能です。このガス入口には、反応室から過剰な汚染物質を除去することができるガスクラバーフィルターも装備されています。このチャンバーには、反応副産物を捕捉するバックサイド真空継手もあり、それらが原子炉に再突入するのを防ぎ、蒸着プロセスに影響を与えます。APPLIED MATERIALS 0010-13321Wは全体的に、超薄型、超高純度、および非常に均一な材料層の堆積のために設計された高性能、超小型プロセスリアクターです。その耐久性のある構造と高精度制御により、さまざまなアプリケーションに適しており、信頼性と一貫した結果を提供します。