中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293640084 を販売中

ID: 293640084
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2011
MCA E Chuck, 8" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516は半導体産業で使用される原子炉です。異なったタイプのフィルムを沈殿させるか、またはエッチングすることによってウェーハを処理するのに使用されています。リアクターは300mmウェーハ処理が可能で、非常に高速で効率的です。原子炉は、石英チャンバー、ウェーハプレート、ガス制御装置の3つの主要部品で構成されています。石英チャンバーは、エッチングまたは蒸着プロセスを非常に正確に制御できるように、内部に非常に精密な雰囲気を作り出すように設計されています。チャンバーは、強力なシールを作成するために一緒に融合されている3つの石英シリンダーで作られています。チャンバーの内部は、暖房素子と冷却素子に囲まれており、環境を正確に制御することができます。ウェーハプレートは、処理中にウェーハをチャンバー内に保持する原子炉の部品です。それは耐熱性および非伝導性であるように設計されている特別な材料から成っています。また、顧客に不要なコストを削減するために、低メンテナンスと低コストであるように設計されています。ガス制御システムは、原子炉のもう一つの重要なコンポーネントです。エッチングおよび蒸着プロセスに必要な反応ガスを提供するだけでなく、チャンバー内の圧力と流れを制御する責任があります。ユニットは、ガスの正確な制御を可能にするバルブ、パイプ、ガス源の数で構成されています。全体として、AMAT 0010-12516リアクターは、あらゆるサイズのウェーハを処理する信頼性が高く効率的な方法です。その精密なガス制御機械は、チャンバー内の環境を正確に調整することができます。その低メンテナンス設計と耐久性のある材料により、薄膜成膜やエッチングなど、多くの用途に最適です。
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