中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-11239 #293651953 を販売中

ID: 293651953
HV Module assembly, 5 kV CESC, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-11239は、高性能の薄膜蒸着用に設計された化学蒸着炉(CVD)です。その中心には真空チャンバーがあり、最大10-5 Torrの大気圧で動作することができます。チャンバーはステンレス製で、堆積プロセスを観察するための石英窓を備えています。部屋の中は基質を支える500°Cまで温度に熱することができる回転プラテンです。蒸着プロセスに必要なプラズマを生成するために、RFとDC電源を組み合わせて使用することができます。AMAT 0010-11239はユーザーの要求に合わせて調整することができるモジュラーシステムです。オプションのガスマニホールドシステムを追加して、チャンバーに複数のガスを個別に導入することができ、必要に応じて様々な蒸着プロセスを可能にします。この原子炉には、蒸着プロセスに使用されるすべてのガスを正確に制御するために、ガス処理システムも装備されています。応用材料0010-11239原子炉は、複雑な材料の薄い層を堆積しても、基板全体で最大限の均一性を達成するように設計されています。その洗練されたソフトウェアにより、レーザー出力、ガス流量、基板温度などの蒸着プロセスを正確に制御できます。プロセス全体が監視され、再現性のあるパフォーマンスを確保するために記録されます。0010-11239原子炉は、その洗練された機能と構成の範囲のために、薄膜蒸着のための信頼性と経済的な選択です。モジュール式の設計により、様々な作業に適しており、複数のガスを扱うことができるため、幅広い研究および産業用途に使用できる汎用性の高いツールとなっています。さらに、ソフトウェアとハードウェアは、プロセスと堆積の最終品質の両方を正確に制御します。
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