中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750W #9186163 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750Wは、精密プロセス温度と幅広いプロセスガスフローをサポートするように設計された原子炉です。高歩留まり生産と低ランコストの厳しい要件を満たしながら、安全で信頼性の高い方法でバッチを処理する能力を備えています。原子炉の設計は、堆積物、エッチング、アニールなどの幅広いプロセスに最適化されています。この原子炉は、温度範囲が1100°Cと広い大規模な処理領域を持ち、窒素、アルゴン、水素、酸素などのガスをサポートすることができます。このチャンバーは、見やすい水晶ビューポートを備えたステンレス鋼から構成されており、サンプル保持ウエハに簡単かつ正確にアクセスできるように設計されています。また、インタラクティブなユーザーインターフェイスを備えており、プロセス制御と監視を迅速かつ簡単に行うことができます。原子炉の設計は、高度な熱制御装置による迅速な処理サイクルを可能にします。このシステムは、高速温度のランプアップとランプダウン速度で正確なプロセス温度を提供し、ユーザーが堆積とエッチング速度をより良く制御できるようにします。さらに、このユニットは、複数のプロセスレシピの使用を可能にし、レシピは生産フローを中断することなく、すぐに変更することができます。この原子炉には、サンプルの取り扱いと準備、積み下ろしを簡素化する自動ウェハハンドリングマシンが装備されています。ロボットアームには強力な電子センサーが装備されており、プロセスサイクル全体を通してウェーハを正確に追跡できます。さらに、このリアクタには、ユーザー定義のレシピを保存し、あらゆる本番稼働にわたって複数のステップのレシピを管理する自動レシピ管理ツールが搭載されています。この原子炉に組み込まれた特徴と技術の組み合わせにより、精密プロセス制御、高速サイクルタイム、低コストの所有コスト、および運転中の信頼性が可能になります。プロセス制御の向上と歩留まりの向上により、AMAT 0010-09750Wは最高品質の規格と経済効率を必要とするエッチングおよび成膜アプリケーションに最適です。