中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750は、化学蒸着（CVD）および急速熱処理（RTP）アプリケーションに最適なプロセスリアクターです。ステンレス製の長方形の大型容器で、不活性ガスで満たされ、Oリングシールで密閉された複数のポートが装備されています。軸方向に取り付けられた手動回転シールアセンブリを使用してポートを開閉し、対流オーブンを使用して室温を維持します。本船は304SSで建造され、直径8インチ（20cm）、高さ6。5インチ（17cm）、容積1000立方インチ（16L）で設計されています。容器は40 psig （2。75 barg）に評価される圧力です。内部の回転可能なインプラントホルダーは、チャンバーの中央に軸方向に取り付けられ、直径4インチまでの6つの（6）ウェーハをサポートできます。チャンバーには、最大3つのプロセスガスインレットと2つの排気ガスを取り付けることができ、迅速でダイナミックなプロセスサイクルを可能にします。チャンバーは、上記の対流オーブンを使用して加熱されます。このオーブンは、20°F-950°F （7°C-510°C）の温度範囲で304 SSで構成されています。オーブンはPID温度制御され、± 5°F （± 2°C）の均等性があります。加熱率は650°F/min （354°C/min）までプログラム可能です。チャンバーには可変スピードファンも装備し、チャンバー内の対流を可能にします。AMAT 0010-09750は、さまざまなCVDおよびRTPアプリケーション向けに設計されています。軸方向に取り付けられた手動回転シールアセンブリ、大容量、および対流加熱により、利用可能な最も効率的な原子炉の1つです。プロセスガスを急速に循環させ、均一な加熱を行うことで、高いスループットと一貫した結果を得ることができます。低温で高い蒸着率を実現し、サイクル時間を短縮します。この原子炉は、信頼性の高い、効率的なCVDまたはRTPシステムを探している任意の実験室に最適です。