中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750リアクターは、化学蒸着（CVD）や物理蒸着（PVD）などの蒸着プロセス用に設計された汎用性と信頼性の高い高度な製造ツールです。この原子炉は、温度、圧力、および時間制御を組み合わせて、前駆体、ドーパント源、触媒変換などのプロセスに必要な特定の条件を達成します。それは基質、るつぼ、源、または他のプロセス部品を収容するために6カセット/ボートのローディングステーションまで収容できます。原子炉内には、25°C〜1000°Cの温度範囲まで加熱可能なチャンバー炉を採用し、チャンバー内の温度均一性と安定性を実現しています。ABB UタイプRFコイル誘導、可聴ガス流量計、マルチウェイマスフローコントローラは、最高温度安定性を提供するためにチャンバー炉と統合されています。この原子炉は、不活性ガスとパージ装置を使用してチャンバー内の大気制御を容易にします。ABB UV-SiCモジュールは、プロセス制御と温度の均一性の追加レベルを提供するために統合されています。AMAT 0010-09750原子炉は、7x10-7 Torrまで真空を達成することができる高性能の高真空システムを使用しています。また、高精度の基板リフターを内蔵し、微細な位置決め精度とウェーハ機能を実現しています。さらに、原子炉は液体、蒸気、ガスなどの異なるプロセス媒体とも接続することができます。これは、CSA承認*グローブボックスインサート、球面フランジ、および化学フィードスルーを統合することで実現され、異なるプロセスメディアを原子炉に適切に追加および除去することができます。原子炉にはPLCプログラム可能な制御ユニットもあり、プロセスの一貫性と記録保持能力を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェース設計により、リアクターを簡単に操作および制御できます。さらに、真空タワーとガスマニホールドマシンの統合により、原子炉のメンテナンスが容易になり、効果的な運用のために適切な真空レベルを維持する効率が得られます。結論として、APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactorは、最先端の技術、最適化された制御システム、および高度なプロセス能力を備えたオールインワン炉であり、高度な製造プロセスに理想的で強力なツールです。