中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293618116 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750は、シングルウエハで熱処理された化学蒸着炉です。AMAT 0010-09750は、半導体ウェーハや基板に薄膜を堆積させるためのツールです。この装置の反応室は円筒形で、基板上のフィルムを均一に成膜することができます。このプロセスは、200〜400°Cの温度で熱い水素大気中で行われます。応用材料0010-09750の反応部屋はガスおよびプロセス制御装置が装備されています。これらのユニットは正確に制御された環境を提供し、すべてのリアクタントガスの正確な流れと分布を可能にします。これにより反応速度が向上し、歩留まりが向上し、製品品質が向上します。基板とリアクタントガスの均一な加熱を保証し、基板上に均一なフィルムを作成するシステムでも、2段階の加熱プロセスが使用されています。反応室の出口にあるスロットルバルブでフィルムの成長速度と表面の滑らかさを調整できます。反射室に設置されたシャッターでフィルムの反射を正確に制御することもできます。このシャッターは、幅広い屈折率を持つ高品質のフィルムを製造するのに役立ちます。0010-09750は、コンピュータ統合監視ユニットが装備されています。この機械は反応部屋の沈殿率、温度および圧力を正確に記録し、よりよいプロセス制御を可能にします。このツールには、ハードウェア・インターロックと蒸気注入制御も含まれており、安全性が向上し、生産効率が向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750リアクターは、酸化ケイ素および窒化ケイ素メモリチップの堆積、LEDチップ用のパッシベーション層、トランジスタ相互接続用の窒化物および酸化物フィルムなど、多くの用途に使用されています。この資産は、高品質の薄膜材料を製造するための効果的で信頼性の高いツールです。