中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #9148699 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES 0010-09416Wは、急速熱処理（RTP）用途向けに特別に設計されたテーパード石英原子炉です。ウェハサンプルの急速な加熱・冷却を可能にするため、半導体加工に最適です。原子炉は石英室で構成されており、2つの対向ピラミッドが中央に向かって内側に傾斜している。また、真空装置の接続を可能にする上部と下部の2つのフランジが含まれています。水晶部屋はそれが気密であることを保障するために精密機械で造られ、1000°C。まで温度に抗できます。水晶材料は急速な暖房および冷却周期を促進するために高い熱衝撃の抵抗のために選ばれました。チャンバーの内壁も反射材でコーティングされており、内部に配置された基板を均等に加熱することができます。原子炉の壁は、独立した加熱、冷却、および大気圧制御を可能にするように設計されています。原子炉のトップフランジには、2つのデュメットシール式のインターロッククォーツキャップが装備されています。これらのキャップは、処理中に原子炉内の不活性ガスまたは反応混合物を含むのに役立つ安全なシールを提供します。下部フランジには、2つの追加のデュメットシールクォーツキャップが含まれており、原子炉を外部真空システムに接続するために使用することができます。これにより、チャンバ内部の真空圧力を正確に制御し、最適な加工条件を得ることができます。原子炉全体の設計は、反復可能で信頼性の高い操作のために設計されています。高効率加熱ユニットを備えており、チャンバー全体がRTPアプリケーションの所望の温度に素早く到達できることを保証します。これは、処理時間を短縮しながらも、高品質の結果を達成するのに役立ちます。また、高度な冷却装置を備えており、熱暴走を防ぎ、サンプルが均等かつ急速に冷却されることを保証します。AMAT 0010-09416W先を細くされた水晶反応器は速く、有効な急速な熱処理を可能にする強力で、信頼できる用具です。さまざまなRTPアプリケーションで精度と再現性を保証するため、あらゆるラボや産業プロセスに最適なツールです。