中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9361612 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416は真空システムで使用するために設計されたタイプの原子炉です。その設計は、表面に必要な材料の薄い層の反射など、物理蒸着（PVD）アプリケーションで使用するために特別に作成されています。このタイプの原子炉は、様々なデータストレージ、オプトエレクトロニック、およびマイクロエレクトロニクスのアプリケーションに利用されています。原子炉は、チャンバーボディ、ベースカバー、アノード、アノードプレート、陰極、エンドプレート、サセプタトレイ、およびその他の追加部品で構成されています。原子炉のチャンバーボディはステンレス製で、効率的な操作316Lために空気と水密であるように設計されています。ステンレス鋼はまた適切な維持を保障するために腐食に対して抵抗力があります。陽極および陰極は優秀な剛性率および熱安定性を提供するためにアルミニウムニッケル合金からなされます。エンドプレートは304ステンレス鋼からなされ、サセプタートレイは通常アルミ合金からなされます。最後に、ベースカバーおよび陽極版はアルミ合金と組み立てられ、保護コーティングと終わります。原子炉の全体的な動作は、材料の同時導入とチャンバーへの非反応性ガスで構成されています。プロセスは2つのフィラメントを使用することから始まります。1つのフィラメントはアークを生成するために使用され、もう1つは材料、通常は金属化合物を加熱するために使用されます。アーク電圧と電力は、必要な圧力に応じて慎重に監視および調整され、材料を蒸気形態に昇華させます。次に、気化された化合物は非反応性ガスによって攪拌され、均一な混合物となる。このプロセスは、望ましい沈着レベルが達成されるまで繰り返されます。この原子炉は信頼性が高く費用対効果が高いため、様々な材料の複数の層を材料沈着のための複数の容器を必要とせずに達成することができます。さらに、原子炉は、手動プロセスを必要とせずに、高度な表面仕上げや中間膜の開発を可能にします。AMAT 0010-09416原子炉は、信頼性の高い運転、安全機能、およびコスト削減能力のために、多くの産業で使用されています。