中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9111980 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416は、デバイス製造および研究に使用される高度なプロセスに比類のない制御と柔軟性を提供するウェーハデュアルチャンバーリアクターです。この部屋は堅い温度調整、良質ガスの源および信頼できる長期操作のきれいな環境を特色にします。これは、高度な性能と処理を必要とする生産プロセスまたは研究タスクのいずれかで動作するように設計されています。AMAT 0010-09416は単一のステンレス鋼の陰極部屋および陽極酸化、クリーニング、脱着、バルク酸化物の成長および沈殿物に使用することができる水晶上部部屋を特色にします。カソード室には、3つの誘導結合無線周波数（RF）源と電子サイクロトロン共鳴（ECR）源があります。ECR源は、材料を加熱してイオン化するために電磁界を使用して均一なプラズマを生成することができます。3つのRF源は独立してRF力の異なったレベルを提供するために働き、精密な、カスタマイズされた沈殿のプロフィールが達成されるようにします。RFソースを使用して超高速プラズマ処理条件を作成することもできます。これは、チャンバのRF電力上限によって可能になる機能です。チャンバーは、最大1200℃の高温機能と-50°Cの低温機能を備えています。この範囲は、暖房繊維とチャンバー内の冷却チャネルの組み合わせによって維持されます。このチャンバーの超低熱質量は、温度調節の精度にも寄与します。また、超高真空に最適化された先進的な真空システムを備え、5バーの圧力範囲を備えています。処理性能をさらに最適化するために、アプライドマテリアルズ0010-09416には洗練されたガス供給オプションが多数あります。具体的には、2基のマスフローコントローラ（MFC）、 5本のガスライン、およびガスライン監視システムを備えています。MFCは、チューニング可能なガスフラックスを可能にし、動的前駆駆動などの機能を利用することができます。5つのガスラインは、さまざまな種類のガスと混合物の組み合わせを処理するように設計されています。ガスラインモニターを使用してチャンバー内のガスプロファイルを測定することができ、温度依存生産率を考慮することができます。0010-09416は最高レベルのプロセス性能および制御を要求する適用のための理想的な解決です。その包括的な機能、柔軟性、機能により、あらゆるプロセス開発や生産環境での使用に適しています。