中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293824898 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416は、先進的な半導体材料の製造用に設計された高性能リアクターです。この原子炉は、有機物と無機物の両方の半導体材料の範囲を生成するために使用することができます。シングルウェーハ型の生産型リアクターで、最大300Mbarの圧力と室温と1500°Cの温度で制御可能な大気中で動作することができます。原子炉は、真空密封された出口、調節可能なサンプルヒーター、セラミック断熱材、ステンレススチールフランジ、マスフローコントローラ、入口ポート、出口ポートを備えたテーパー式クォーツチューブで構成されています。水晶管は赤外線ランプの使用によって熱されます。作動中、加熱されたサンプルヒーターにサンプルまたは「ウェーハ」を配置し、原子炉のコンピュータで制御できる温度と圧力の範囲にさらされます。サンプルの表面は、物理蒸着（PVD）や化学蒸着（CVD）など、さまざまなプロセスを使用して変更およびエッチングすることができます。この原子炉の他の機能には、調節可能なガス流量を持つ酸素/窒素/アルゴン混合ガス源が含まれます。10-6 Torrの基本圧力の超高真空システム；急速に1500°Cまで基質を加熱することができる温度ランプシステム；そして超高温アニーリング部屋。さらに、リアクタのプロセスパラメータは、特定のウェハ要件に合わせて調整することができます。AMAT 0010-09416リアクターは、炭化ガリウム、炭化ケイ素、窒化ゲルマニウムなどの半導体材料を含むさまざまな化合物の合成に使用できます。この原子炉は高効率であり、製品の高収率を達成するために使用することができます。また、パラメータは特定の要件を満たすためにカスタマイズすることができるため、非常に汎用性が高いです。使いやすさが高く、先端半導体材料の製造に最適な原子炉です。