中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293602314 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416は、主に半導体業界で使用されるマルチコンポーネント、マルチゾーンプロセスリアクターです。薄膜の酸化、窒化、エッチングなどの用途向けに設計されています。リアクターは通常、リングスタンドに取り付けられ、薄膜スタック処理の自動化に使用されます。AMAT 0010-09416原子炉は、プロセスチャンバーとフランジの2つの主要部品で構成されています。プロセスチャンバーは、最大4つのマルチゾーンプロセスゾーンを含むハウジングです。各ゾーンは、標準の2000ワットのRFソースを使用して加熱され、独立して制御し、異なる温度に設定することができます。フランジは、プロセスチャンバーを真空システムに機械的に接続する特別に設計されたフランジです。プロセスチャンバーは、最大4つのマルチゾーンプロセスゾーンに分割されます。各ゾーンは、調整可能なベースウェーハテーブルアセンブリによって分離され、独立した高温ランプまたはコードレスランプ高温ソースを備えています。調整可能なベースウェハテーブルアセンブリにより、ウェハをステッピングモータで水平に移動させ、異なるプロセスの異なるゾーンにマッピングできます。各ゾーンの温度は独立して制御され、-50°Cの限界から+1000°Cの最大限界までの温度に設定され、合計電力は最大2000ワットです。原子炉の真空システムには、フランジに接続されている避難装置ラインが含まれています。それは電子モーターポンプによって動力を与えられ、500mTorrの最高圧力を提供します。排気線もフランジに接続され、最大1 Torrの圧力があります。応用材料0010-09416原子炉の全体重量は290lbsで、寸法は43。5in （H） x43。5in （W） x21。5in （L）です。安全遮断バルブ、デジタルフローモニター、安全バルブ付き排気ポートを装備しています。これは、原子炉が適用される安全規制に準拠して動作されることを確実にするために、安全性を念頭に置いて設計されています。結論として、0010-09416は半導体産業の薄膜スタック処理用に設計されたマルチコンポーネント、マルチゾーンプロセスリアクターです。安全遮断バルブ、デジタルフローモニター、排気ポートなどを装備し、適用される安全規制に準拠して動作するように設計されています。その結果、原子炉は、薄膜の酸化、窒化、エッチングなどの高温プロセス用途に有効なツールです。