中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09103 #293658078 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09103リアクターは、半導体産業のエッチングおよび洗浄に使用される自動生産ツールです。真空プロセスチャンバーで構築された装置には、均一なウェーハ配置と回転のための静電チャッキング（ESC）システムが装備されています。この原子炉は垂直共平面設計を採用しており、基板が電極に対して平行方向に堆積することで、優れたプロセス均一性を実現しています。高レベルのウェーハからウェーハまでの再現性を備えた信頼性の高いエッチングおよびクリーニングソリューションを提供し、生産エンジニアリングに最適です。自動化された操作は、高度なユーザーインターフェイスを備えたフル機能のコンピュータによって制御されます。精密なプロセスコントロールユニット、デジタルビデオマシン、ライブ曲率測定、冷却ツールが装備されています。イオン化されたガス供給資産も利用可能で、安定した均一で精密なエッチングプロセスを提供します。その自動ローディングとアンロード機能は、基板がプロセス全体で同じ位置に保たれることを保証します。AMAT 0010-09103原子炉は、酸化物除去、選択的エッチング、薄膜成膜、異方性エッチング、およびプロセス制御および改善された基板均一性を有する深部シリコンエッチングなど、さまざまなプロセスを実行することができます。これは、信頼性の高いエッチングを確保するために、プロセスガス供給システムの範囲を実装する能力と、基板、基板サイズ、および環境条件の広い範囲のために設計されています。真空モデルは、高真空レベルとトッププロセス性能のために設計されており、優れた温度制御、石英温度監視、および調節可能な炉温度を提供します。装置には、緊急停止スイッチ、インターロックリレー、ダストモニターなど、いくつかの安全機能が装備されています。また、洗練されたプロセス監視システム、パワーレベルの調整、タッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。この原子炉は優れた均一性とスループットを提供し、生産エンジニアリング業界にとって理想的な選択肢となっています。