中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010は、典型的には長さが約5フィートで直径が1/2フィートまでの円筒反応室からなる原子炉です。この原子炉は、上部を介してローディングするために設計されており、容易なローディングを可能にするためにリフトシステムが装備されています。直径8インチまでのウェーハに対応可能です。この原子炉は、反応室を囲むボディで構成され、圧力、温度、ガスのレベルの範囲で維持されます。チャンバーはガス密度が高く、他の工程からのクロス汚染を防ぐように設計されています。さらに、原子炉は、お客様のニーズに合わせてさまざまな構成でカスタマイズすることができます。基板（またはサンプル）は、トップフィードチューブを介して原子炉に導入され、その後、処理室の底に持ち上げられ、昇降プラットフォームにロードされます。回転リボルバースタイルのヒーターを使用して、プロセスガスを加熱してポンプアウトし、温度と圧力を制御します。基板加工後、真空マニホールドに排出され、製品集積容器を取り付けることができます。原子炉の非真空部品はステンレス製で構成されていますが、真空対応フランジやコネクタには異なる材料が使用されています。真空部品には、通常、セラミックインサートで構成されたアルミニウムブレードを備えた溶接ステンレススチールボディが含まれており、より良いシールを可能にし、汚染を低減するように設計されています。また、圧力センサ、酸素/可燃性ガスセンサー、冷却水センサなど、さまざまな安全対策や監視対策を実施しています。さらに、原子炉は過熱または過圧状態の場合には、可聴および可視の警告を提供します。さらに、原子炉は、緊急時にそれを遮断するための自動システムを提供しています。全体として、AMAT 0010-09010リアクターは信頼性の高い堅牢なシステムで、お客様の要件を満たすようにカスタマイズでき、プロセス結果の安全性と品質を保証する安全性と監視機能の完全なパッケージを提供します。