中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450 #9017807 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450
ID: 9017807
MCA+ E-chuck heaters, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-04450リアクターは、半導体およびLEDデバイスメーカー向けのユニークで高性能なソリューションです。このシングルウェーハリアクターは、均一な温度分布、高度なガス流量制御、厳しい温度制御により、優れたプロセス結果を提供するように設計されています。モジュラー設計により、他の機器と容易に統合できますが、最小限のフットプリントにより、小規模生産施設に最適です。AMAT 0010-04450リアクターは、均一な温度分布、高度なガス流量制御、および厳しい温度制御により、敏感な基板の容易で信頼性の高い処理を可能にするように特別に設計されています。それは4つまでの異なった地帯のプログラム可能な処理を可能にする高度のマルチゾーンの熱制御装置を特色にします。これにより、ウェーハやLED基板を加工する際の温度、電力、大気を正確に制御できます。このマルチゾーン制御はまた、異なる飼料錫と異なるレシピで均一な熱処理を保証します。原子炉はまた、センサーとモニターの包括的なセットが装備されています。これらは、チャンバーの温度と雰囲気だけでなく、熱エネルギー、堆積率、ガスの流れなどの他の重要な条件を監視します。これは、市場の他のほとんどのシステムに比類のない再現性と精度で、複数のバッチにわたって一貫した結果を保証するのに役立ちます。優れた熱特性と同様に、アプライドマテリアルズ0010-04450リアクターもモジュラー設計を備えています。これにより、光検査システムなどの他のシステムと容易に統合することができ、インライン半導体の生産が可能になります。また、最小限のフットプリントにより、このユニットは小規模生産施設や実験室内試運転に最適です。全体として、0010-04450はシングルウェーハリアクターであり、均一な温度分布と高度なガス流量制御、厳しい温度制御、包括的なセンサーとモニターのセットにより、優れたプロセス結果を提供します。モジュラー設計により、他のシステムとの統合が容易になり、フットプリントが小さいため、小規模生産に最適です。先進の熱制御・モニタリングマシンにより、半導体やLEDデバイスの生産に最適なソリューションです。
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