中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843R #9270630 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843R
ID: 9270630
DCxZ Ceramic heater.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843Rは、半導体業界でウェーハ加工に使用されるように設計された高温プロセス炉です。それはそれをあらゆる生産設備のための優秀な選択にする経済的で、使いやすく、信頼できるプロセッサです。この原子炉には、原子炉全体で均等に熱を伝達し、プロセス全体で均一な温度制御を保証するように設計された高性能ヒートスプレッダーが装備されています。温度は、実行されているプロセスに応じて、500°Cから1500°Cの範囲にすることができます。この反応モジュールには、チャンバーロック機構、過熱制御、有毒で腐食性のガスを感知するガス検知システムなど、人員の安全を確保するためのいくつかの安全機能があります。原子炉室は長方形で、上流の縦方向の壁を含む囲まれた設計が特徴です。これは優れた均一性と熱循環の安定性を提供します。これは半導体加工にとって重要な要因です。チャンバーには、簡単な積み下ろし手段を可能にするいくつかのポートが装備されています。AMAT 0010-03843Rには、温度コントローラや熱電対など、最新鋭の温度制御システムが装備されています。それはまた反応部屋に力を提供するのに使用されるRFの発電機を含んでいます。この原子炉は、高純度の製品を確保するために、プロセスの流れから粒子を除去することを可能にする最先端のろ過システムを備えています。さらに、各チャンバーポートは、迅速かつ効率的なプロセスを保証するフロー最大化システムで設計されています。アプライドマテリアルズ0010-03843Rは、最大4つの反応チャンバを制御できる三菱PLCコントローラを搭載しています。PLCのオンボードディスプレイとキーパッドインターフェイスにより、オペレータはプロセスを監視し、必要な調整をいつでも行うことができます。原子炉は、簡単で使いやすい操作のために設計されています。複数の自動機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、オペレータがプロセスを簡単に監視、制御、および調整するのに役立ちます。全体として、0010-03843Rは信頼性が高く使いやすいプロセスリアクターを必要とするあらゆる生産設備に最適です。この原子炉は、化学蒸着(CVD)やイオン注入などの困難なプロセスを精度、信頼性、均一性で実行することができます。それは最先端の温度調整、粒子およびガスのろ過システム、また使いやすいコントローラーを特色にします。信頼性が高く、経済的で効率的な原子炉のために、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843Rは優れた選択肢です。
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