中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269049 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843は、高品質の材料蒸着を提供するように設計された高度な蒸着炉です。高度な半導体製造、高度なパッケージング、およびMEMSの分野で広く使用されています。この次世代原子炉は、ポリシリコン、タングステン、アルミニウム、カーボンなどの材料の精密蒸着の業界トップクラスの供給源です。AMAT 0010-03843は、石英チャンバー、セラミックキャビティ、石英ウィンドウで構成されています。石英チャンバーは密閉されており、蒸着プロセスの主なハブです。セラミックキャビティには、高エネルギー電子ビームガンと高温発熱体が含まれており、堆積プロセスに最適な環境を作り出します。クォーツウィンドウは、クォーツウィンドウの存在が複雑な真空ポンプとラインの必要性を減らすため、原子炉の利点です。高エネルギー電子ビームガンは、原子炉室内に高密度粒子を注入するために使用され、結晶化と窒化チタンや窒化タンタルなどの特定の材料の均質なコーティングの作成を可能にします。また、電子ビームガンは、材料沈着の小さなスポットで空間シャッターを発生させる能力を備えており、さまざまな基板上に小型から中型の特徴配置を可能にしています。加熱されたゾーンは、選択した材料の均質なコーティングを可能にし、電子ビーム注入のみを使用するのと比較して、より良い厚さ制御で堆積させることができます。さらに、APPLIED MATERIALS 0010-03843は、特定の堆積パラメータをサイクルするアクティブな自己リフレッシュシステムの利点を持っています。この自己リフレッシュ機能により、反応パラメータは均一な厚さの一貫したコーティングのための静的モードに設定できます。0010-03843はまた独立して密封された内部および外の部屋が付いている二重部屋の設計を含んでいます、温度および圧力変化両方を要求する沈殿への利点を提供します。加熱されたチャンバーを基板から分離することで、オペレータは作業を抑制し、温度と圧力を個別に設定し、プロセス工程間の時間を節約できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843は、幅広い利点を備えた高水準の性能と信頼性を提供する高度な蒸着炉です。石英チャンバー、セラミックキャビティ、高エネルギー電子ビームガン、およびデュアルチャンバー設計の組み合わせにより、あらゆる基板上に金属や化合物を信頼性の高い再現性の高い堆積が可能になります。