中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293820448 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840リアクターは、製造メーカーが卓越した精度の半導体部品を迅速に作成できるように設計された精密プラズマエッチングツールです。原子炉の全体的な設計は、最大限の柔軟性を提供するために高度にモジュラー設計に基づいています。これにより、メンテナンスや交換のための機器内のさまざまなコンポーネントに素早く簡単にアクセスできます。AMAT 0010-03840原子炉は、高度な半導体デバイスの製造など、さまざまな用途での使用に最適です。このシステムの主な特徴は、3インチのトップローディング熱源で、さまざまなエッチングプロセスに適した広範囲にわたって高密度のエネルギープラズマを生成します。また、高度な温度均一性コントロールを備えており、すべての基板処理中に均一なウェーハ温度を確保します。さらに、全自動プロセス制御技術により、ガス流量、電力、基板温度の組み合わせを自動制御し、プロセス精度を向上させることができます。モジュラー設計には、最初のウェーハから最後までの信頼性の高いエッチングプロセスを保証するさまざまな機能が組み込まれています。これらの機能には、不活性ガス配送ツール、自動結晶方向検出、および正確な垂直座標資産が含まれます。アプライドマテリアルズ0010-03840リアクターは、直径6インチまでの基板処理に対応するように設計されており、制御されたガス配送用の基板と精密なエッチングジオメトリを確実に保持する統合基板ホルダーを提供します。このモデルは、両面フットペダル制御と大画面、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、迅速かつ簡単な操作が可能です。正確で反復可能なレシピを確実に維持するために、機器はエッチングプロセスを継続的に監視する高度なソフトウェアシステムを使用しています。ソフトウェアユニットはプロセス変数を記録し、毎回希望の結果を再現可能にします。最後に、0010-03840原子炉は、過酷な産業環境での長寿命を確保するために、高品質の材料で構成されています。この精密プラズマエッチングツールの特徴を活用することで、製造メーカーはより高い精度と歩留まりを持つ部品を作成することができます。