中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293659921 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840は、CVD（化学蒸着）加工用の汎用リアクターであり、さまざまな半導体デバイス製造アプリケーションで使用できます。真空チャンバーはステンレス製で、直径48インチ、長さ48インチです。それは400-500 mbarまで圧力および400°Cまでの温度で作動できます。内部基板プラテンは直径24インチで、4つの200mmウェーハに対応できます。この原子炉には、クリーンで乾燥したプロセス環境を維持するために使用されるRF電源とUPW（超純水）装置が装備されています。このシステムには、イオン化、プラズマエッチング、基板加熱などの追加の補助機能を提供する追加のオプション機器を装備することができます。AMAT 0010-03840 CVDリアクタは、ウェーハ表面における温度（<± 3°C）の高い均一性を特長とし、フィルム蒸着（<± 2％）の高い均一性を達成することができます。また、緊急時のプロセスガスシャットオフユニットと安全機械の監視室の圧力、温度、および緊急圧力の救助が装備されています。原子炉設計はコンパクトで経済的であり、研究およびプロトタイピング用途に最適です。RF発電機は高い制御を提供し、各層の沈殿パラメータに対する高いレベルの制御を提供します。このツールは高度に自動化されており、立ち上がって実行するために最小限の人材トレーニングと時間が必要です。さらに、ダウンタイムとサービス要件を最小限に抑えて、アセットは非常に信頼性が高く信頼性が高いです。結論として、アプライドマテリアルズ0010-03840 CVDリアクターは、さまざまな半導体デバイスの製造に使用できる信頼性の高い高性能CVDモデルです。そのコンパクトで経済的なデザインは、コストとスペースが懸念されるアプリケーションに最適です。温度、膜厚、蒸着速度の均一性が高く、安全性、信頼性、使いやすさはすべて、装置を多くの用途に最適な選択肢にするのに貢献しています。