中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9223200 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254
ID: 9223200
ウェーハサイズ: 8"
MCA E-Chuck, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、高強度で均一なイオン加速を提供するように設計された高性能、低コストの線形加速器です。この原子炉は、小型で円筒形の設計を特徴とし、ほとんどの半導体製造ラインに収まるように十分にコンパクトです。この原子炉は、高品質のステンレス鋼部品とアルミニウムシールドで製造されており、さまざまな用途で優れた耐久性と優れた性能を提供します。リアクターは、イオンビーム電流密度の優れた均一性を提供するように設計されており、フラット電流プロファイルがあります。この原子炉は、調整可能な放射線短縮、調整可能な真空、および調整可能な磁気オン/オフパラメータの組み合わせを利用して、ユーザーが特定のニーズや用途に合わせてイオン照射線量を調整することができます。これにより、複数のビームエネルギー処理またはフッ素処理に適しています。この原子炉には、電圧シェーピング用のビーム変調システムも含まれています。このシステムはサンプルに渡される線量の均一性を改善するのを助けます。このシステムは、ビーム+/マイナス100ボルトを200ミリボルトの範囲で形成するようにプログラムすることができ、ユーザーは配信された線量を完全に制御できます。用量の均一性に加えて、原子炉も優れた運用安定性を提供するために構築されています。イオン源は安定した振動減衰ベースに搭載されており、外部障害によるスポット移動やビーム均一性バイアスの低減に役立ちます。また、アクセルアクセラレータ構造は、耐久性のある振動吸収材を備えているため、動作をさらに低減し、安定したビーム特性とサンプルへの均一な線量を確保します。最後に、原子炉は、イオンエネルギーがユーザーの要件を満たすために簡単に調整できるように、外部発電機で設計されています。この発電機は、原子炉のスループットを向上させるためにビームエネルギーを増加させるために使用することができます。全体として、AMAT 0010-03254は信頼性が高く効率的な原子炉であり、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供します。オプションは、各ユーザーのニーズに合わせてユニットを調整することができます。その優れた均一性と安定性で、この原子炉は、高強度、均一なイオン加速度と優れた線量均一性のための理想的な選択肢です。
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