中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9208507 を販売中

ID: 9208507
MCA E-Chuck heaters.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、商業グレード、垂直スプリットブロック、ガス炉タイプの機器です。この原子炉は、半導体加工、蒸着、エッチング作業に適した商用グレードの装置として設計されています。それは装置の非常に多目的な部分で、いろいろな適用で使用することができます。ステンレス製のスプリットブロックアセンブリを採用し、デュアルウエハ処理と可変電源に対応しています。それは反作用の部屋全体の一定した温度そして圧力制御のために設計されています。垂直反応室を備えており、容易なアクセスとメンテナンスが可能です。この原子炉は、堆積プロセスのために450°Cまで、エッチング動作のために800°Cまで動作することができます。さらに、圧力は30から1000Torrに調節することができます。また、加熱チャンバーへのウェーハの裏側転送用の発振器と、加熱プロファイルの設計用の独立した熱制御ユニットを備えています。AMAT 0010-03254のもう一つの特徴は、統合プロセスオートメーションモジュールです。このモジュールは、圧力、温度、およびフローなどの基本的なシステムパラメータを制御するために使用できます。この原子炉には、自動リーク検出機能を備えた統合ガス供給ユニットも含まれており、効率的で堅牢な動作を保証します。このマシンには、切り替え可能な電源管理モジュールと、タイマーを内蔵したデジタル表示ユニットも内蔵しています。APPLIED MATERIALS 0010-03254は、信頼性の高い性能と低メンテナンスコストにより、半導体加工に最適です。原子炉は幅広い材料を処理する能力を持っているため、多様な用途に適応することができます。さらに、製品はユーザーフレンドリーで、簡単なアクセス反応チャンバーと調整可能なパラメータと機能を備えています。この原子炉は、あらゆる半導体プロセスにとって素晴らしい選択肢です。
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