中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9069114 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254またはAMAT 0010-03254リアクターは、主に半導体ウェーハ加工アプリケーションの製造に使用されるツールです。アプライドマテリアルズ0010-03254リアクターは、UP3000ポリシリコン蒸着チャンバ、View 5000 e-gun Excitation、バッチ真空炉9400など、超高精度チャンバー用にいくつかの部品を設置した先進的な装置です。この汎用性の高いシステムは、LPCVDおよび急速熱処理技術から層間誘電体のスパッタ蒸着まで、さまざまな種類のプロセスを可能にします。UP3000 Polysilicon Deposition Chamberは、複数のプロセスに対応した大規模加工容器です。特許取得済みのデュアル触媒ガス供給ユニットを備えており、蒸着速度を正確に制御できます。View 5000 E-gun Excitation Machineは、蒸着プロセスの効率を高めるために使用されるパルス駆動電子励起ツールです。最大出力は160kV、パルス長は1マイクロ秒です。さらに、磁気ジェットノズルを備えており、蒸着プロセスを正確に制御できます。最後に、バッチ真空炉9400は急速な熱アニーリングおよび酸化物の取り外しのようなさまざまな高温適用を行うことができる多段階プロセス部屋です。それに1300°Cの最高温度があり、調節可能な時間および温度のプロフィールの実時間温度のプロファイリングが装備されています。全体として、0010-03254リアクターは、高精度の半導体ウェーハ加工業界にとって強力なツールです。蒸着プロセスを高精度に制御するだけでなく、多彩な用途に対応します。さまざまな積分部品により、幅広い半導体製造プロセスに比類のない性能と信頼性を提供できます。