中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293769609 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、様々な材料の薄膜をスパッタリングするために設計された生産レベルの高効率PVD炉です。AMAT 0010-03254はスタンドアロンの300mmウェーハカセット-カセットツールで、高性能スパッタリング成膜と、独立したプロセスチャンバーを使用して複数の金属および金属酸化物材料層を同時に堆積する機能を提供します。PMチャンバーにはユニークな「回転マグネトロンソース」が装備されており、従来の平面ターゲットや円筒状ターゲットなど、さまざまなターゲット材料を使用して均一な層の厚さを作成できます。また、ETM （Rotating Target Management Equipment）を強化し、サイトレベルの制御と均一性を向上させ、粒子汚染を低減するロードロック設計を改善しました。リアクターの制御は、専用のフロントエンドのオートメーションと制御システムを使用して実現されます。このユニットは、迅速なセットアップとレシピの最適化を容易にし、統計的に管理された品質保証を提供し、ホットウェーハのローディングを利用します。これにより、壊れやすいリアクタントガスの損傷を最小限に抑えながら、メンテナンスコストを削減し、エネルギー消費を削減することができます。さらに、シングルチャンバーとマルチチャンバーの両方の動作をサポートし、柔軟なプロセスの強化を可能にします。機械設計の面では、アプライドマテリアルズ0010-03254には、高速機器の変更と工具のメンテナンスを可能にする高度なポンプダウンアーキテクチャが装備されています。さらに、このツールは、高度なダイヤフラムとバックポンプを使用して、蒸着チャンバーに高真空レベルを作成することができます。さらに、高精度の駆動システム、ガス配分の最適化、ガス掃除の改善により、性能と効率的なフィルム蒸着を実現しています。0010-03254リアクターの中核には、AMATの実績あるMDP4 （4つのチャンバのための最大化されたデータ処理）コントローラプラットフォームがあります。このプラットフォームは、統計的プロセス制御と高レベル歩留まりの最適化で、エレガントなレシピ管理を可能にします。さらに、MDP4コントローラはトレンド分析とカスタムアナリティクスを可能にし、オペレータはプロセス中の材料のメカニズムと挙動に関する強力な洞察を生成することができます。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、優れた性能とプロセスの柔軟性を備えた強力な生産レベルのPVD炉です。高度な機械設計、オートメーション、制御ツールを組み合わせることで、薄膜の迅速な成膜と、特定の金属と酸化金属材料の複数の層を同時に成膜するための理想的なツールとなります。そのため、AMAT 0010-03254リアクターは様々なスパッタリング用途に最適です。