中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、AMAT、 Inc。が幅広い産業プロセスで使用するために製造した原子炉装置です。フロントエンド半導体デバイスの製造で使用する場合、生産、精度、およびプロセス制御を向上させるために特別に設計されています。この反応器システムは、加熱された反応性プラズマと冷却された反応性プラズマの組み合わせを利用して、表面に材料を正確かつ正確に堆積させるために使用できる化学反応を作り出します。AMAT 0010-03254はステンレス鋼の反作用の部屋、高周波磁気の発電機、単段の高圧結合の変圧器、高圧血しょう源および発電機によって運転されるRFの電源で構成されます。加熱され冷却された反応性プラズマはマグネトロンによって生成され、高周波発生器によって動力を与えられます。高電圧カップリング変圧器は、反応チャンバへの電圧と電流のプラズマ配信を正確に調整することができます。応用材料0010-03254はユーザーが特定の必要性のためのプロセスをカスタマイズするために熱および反作用パラメータを調節することを可能にするプログラム可能なコントローラーによって支配されます。反応チャンバーは、反応性窒素、酸素、水素、塩素を生成し、沈殿前に表面を酸化して不動態化することができます。また、アルゴン、クリプトン、キセノン、ヘリウムなどの飼料ガスを高精度に制御することで、高純度成膜を実現しています。0010-03254はプログラムされた眺め、圧力、熱およびガス制御の精密そして制御のために専門にされた化学機械磨くことを可能にするように設計されています。これは、サンプルやカセットの入出力を可能にするためのロードロックチャンバーを持っており、乾燥化学と湿式化学の両方のための統合されたガス供給を持っています。リアクターユニットは、復元可能なエンドステーションと最大8つのウェーハを保持できる石英またはグラファイトウェーハボートサポートによってサポートされています。また、他のウェーハボート予熱技術を制御するための追加の温度入力も備えています。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254は、半導体の生産と製造におけるプロセス制御と精度を向上させるために設計された多機能リアクタ機です。ステンレス鋼反応室、高周波磁気発電機、高圧結合変圧器、高圧プラズマ源、発電機駆動RF電源を備えています。プログラマブルコントローラは、ユーザーが特定のニーズに合わせてプロセスをカスタマイズすることができ、ロードロックチャンバー、復元可能なエンドステーション、統合されたガス供給を提供します。さらに、他のウェーハボート予熱技術を制御するための追加の温度入力を備えています。