中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293596912 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254リアクターは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）用に設計された汎用エッチング炉です。中規模から大規模生産のために設計されており、チャンバーサイズは30 「x 30」（76。2 cm x 76。2 cm）です。この原子炉は、ステンレス鋼とグラファイトライニングで構成された冷たい壁の円筒形のチャンバーを利用しています。グラファイトライニングは、チャンバ内の劣化した表面の修復を可能にしながら、熱分散を提供することにより、チャンバの熱応力を最小限に抑えるのに役立ちます。このチャンバーには、窒化ホウ素（PBN）プラットフォームとアノードフードも含まれています。この原子炉には、単一の周波数13。56 MHz VHF RF電源が装備されており、出力範囲は250-500ワットです。この機器はクリーンルーム環境での使用を想定して設計されており、リモート通信用の真空定格のビューポートウィンドウとI/Oコネクタが付属しています。この原子炉はプログラマビリティも備えており、レシピのプリセットを可能にし、制御と柔軟性を高めるために最大50段階のプログラムを選択することができます。レシピプリセットは、ガスの流れ、ガス混合物、圧力、RF電力、露出時間、バイアス、温度など、さまざまなプロセスパラメータを提供します。このシステムには、過圧モードと圧力メンテナンスが装備されており、ユーザーが素早く部屋を避難できるようにすることで、粒子汚染を低減するのに役立ちます。このユニットには、PBNプラットフォーム用の温度制御マシンも付属しており、堆積速度と構成をさらに制御できます。この原子炉は優れた均一性を提供し、プロセスステップの再現性を0。5％達成することができます。また、最大0。2％の温度均一性を有し、タイムアウトおよびマイクロフィードバックから0。2％/0。5％の石英安定性を提供することができます。全体として、AMAT 0010-03254リアクターは、高度なPECVDアプリケーションに信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。