中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254-003 #293797389 を販売中

ID: 293797389
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2018
MCA E-Chuck assembly, 8" 2018 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254-003は、化学蒸着(CVD)プロセスで使用するために設計されたin-situ、シングルウェーハリアクターです。それはCVDの必要性のための一貫した、信頼できる解決を提供するように設計されている完全に統合された装置です。このシステムは、最小限の時間で最も効果的な結果を可能にするために、幅広いプロセスパラメータを備えています。このユニットは、さまざまな既知のプロセスから優れた結果を提供する能力を備えているため、研究および生産ラボ環境に最適です。柔軟性が高く、プロセスレシピの素早い切り替えが可能で、お客様のニーズに合わせて簡単かつ迅速に対応できます。ヒーターは、再現性と予測可能な結果を保証する自動調整可能なプログラム可能な温度ゾーンを備えています。高度な蓋クランプ設計により、プロセスの均一性を高め、スループット率を向上させます。単位の力は適用に必要なワット数を渡すことができる4.0KW複数のRFの発電機を通して提供されます。それはあらゆる適用の間に一貫した、均一なエネルギー分野を保障する自動化されたプロセス制御の単位を含んでいます。その他の機能としては、熱予算の低さ、ガス流量の自動配信、ツール用のデータロギングマシンなどがあります。ユニットは安全性を念頭に設計されています。温度保護と過電力保護システムを備えており、事故を防ぐように設計されています。この資産には、不正使用を防ぐ4桁の個人識別番号(PIN)機能も含まれています。このモデルには、運転中のユニットの安全性を高める多数の安全インターロックとスイッチも含まれています。全体として、AMAT 0010-03254-003は信頼性の高い先進的な機器であり、ラボが複雑なCVDプロセスを確実に実行できるように設計されています。それは研究および生産の実験室によく適し、最も短い時間の最適結果を作り出そうとするそれらのためのスマートな選択です。
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