中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286リアクターは、高度で信頼性の高いインラインCVD（化学蒸着）プロセスデバイスです。半導体、光デバイス、フラットパネルディスプレイなどの光電子デバイスの量産に適しています。この原子炉は、RF（無線周波数）誘導によって加熱される水晶結合反応チャンバーを利用しています。このチャンバーには、ガスインレット、排水口、基板ホルダー、ウェハローダー/アンローダーも含まれています。この原子炉は、アルミニウム、チタン、銅、シリコンなどの様々な材料の薄膜を基板に堆積させることができます。また、酸化物、窒化物、水素不動態化膜、ホウ素、リン、ヒ素、ガリウムなどのドーパントも堆積することができます。原子炉は、高い均一性を維持しながら、堆積する材料に応じて、最大1100°Cの温度で動作することができます。AMAT 0010-01286は、基板ホルダーへのリモートウェハローディングとアンロード、ならびにオンボードモニタリングと制御を備えています。これにより、蒸着プロセスの精度と再現性が保証されます。この原子炉は高精度の空気圧バルブを使用しており、複数のガスのパルス流量制御による積極的なプロセスフローを可能にしています。これにより、ターゲット基板上の高温での部分電荷が維持され、高い沈殿物の均質性が得られます。アプライドマテリアルズ0010-01286は、16個のプロセスガスと高効率フローコントロールを使用して、柔軟性とソフトな生産サイクル曲線遷移を実現し、迅速な生産速度変化を可能にします。自動化されたタッチスクリーンユーザーインターフェイスは、迅速なセットアップとメンテナンス、ならびに原子炉の操作の容易な操作と監視を容易にするために設置されています。高い安全基準は0010-01286で維持されており、冗長な安全アラームと緊急シャットダウンがあり、危険な状況を防ぎます。その高性能と信頼性は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと組み合わされ、プロセスの再現性、均一性、および全体的な効率を必要とするアプリケーションに最適です。