中古 AIXTRON XL #9363431 を販売中

AIXTRON XLは、AIXTRONによって設計および製造された高温金属有機化学蒸着（MOCVD）原子炉です。光学窓、LED部品、太陽電池などの薄膜技術用途の研究開発や大量生産に使用されています。XLは、特許取得済みの3ゾーン電子ビーム誘導熱処理（EB-TP）技術、ガス供給システム、プロセス制御ユニットからなるカスタマイズされた線形ソース最適化装置（LSOS）を備えています。LSOSは、ターゲット領域の全幅にわたって正確な温度制御を提供し、特許取得済みの3ゾーンEB-TP技術は、成長基板の基板領域全体の温度の高い均一性を提供します。この機械には高精度の回転成膜チャンバーも含まれており、1サイクルで最大5つの異なる堆積物を実行することができます。これにより、HI-VI Pドーピング、低温ドーピング、低温蒸着をAIXTRON XL内で行うことができます。湿式加工機能により、1つの工程でエッチング、洗浄、乾燥工程を自動化し、精密マスクアライメント技術により基板の均一性を最大限に高めます。XLは、安全性、品質、信頼性を高めた堅牢な設計で構成されています。それは品質保証のためのすべての重要なプロセスデータを監視し、記録する作り付けの保護率のモニターおよびデータベースを含んでいます。その他の機能としては、グラフィカルユーザーインターフェイスから簡単にチェックできるシーケンスとプロセスパラメータのセットアップを備えたビジュアリゼーションツールがあります。AIXTRON XLは、薄膜材料の大量生産に理想的な選択肢であるため、産業環境における魅力的で費用対効果の高いソリューションと考えています。正確で再現性のある再現性のある結果を提供することができ、また、1つの製造プロセスから別のプロセスへの迅速な変更を可能にします。このアセットには、高度なプロセス制御機能とデバイス監視機能も多数搭載されています。これらの機能のすべては、さまざまなアプリケーションで使用するための非常に汎用性の高い原子炉になります。