中古 AIXTRON VP 2400HW #9269833 を販売中

AIXTRON VP 2400HWは、化合物および金属有機半導体材料の製造用に特別に設計された原子炉です。水平サセプター設計に基づいており、2〜8インチのウェハ処理が可能です。原子炉環境はクローズドループのコンピュータ制御システムによって制御され、プロセスのパラメータの監視、測定、調整が容易になります。原子炉はアンダーソンポンプ、反応室、ヒートシンクで構成されています。アンダーソンポンプはプロセスに必要な高真空を作り出すのに役立ちますが、反応チャンバーには蒸発した原料が含まれており、ヒートシンクはチャンバーを冷却します。チャンバーには、サセプター、サイドウォール、およびチャンバーの底部の3つの加熱ゾーンも含まれています。原子炉は、直流（DC）マグネトロンスパッタリング技術の原理を使用して動作します。この方法は、動的電場を使用して、荷電粒子（イオン）をターゲット材料に向けて加速します。AIXTRON VP 2400 HWは、これらの材料を噴霧することにより、材料同士の密着性が非常に高く、均一な材料膜を生成することができます。原子炉には、プロセスのパラメータを正確に制御するいくつかの機能があります。5段階の時間温度プログラムにより、反応温度と速度を直接制御することができます。この機能は、コンピュータ化されたレシピと繰り返し可能なプロセスと組み合わせて、作業の安全性と一貫性を確保します。VP 2400HWには、反応で使用される危険物への偶発的な暴露からオペレータを保護するための一連の安全機能が装備されています。安全機能には、緊急時にシステムをシャットダウンする安全インターロックシステムや、運転中に原子炉のドアが誤って開くのを防ぐ安全シャッターなどがあります。VP 2400 HWは化合物および金属有機半導体材料の生産のための信頼でき、有効な炉です。コンピュータ制御環境、温度の正確な制御、安全機能により、加工材料の安全性、費用対効果、再現性を実現します。