中古 AIXTRON VP 2400HW #9222203 を販売中

AIXTRON VP 2400HWは、金属-有機化学蒸着（MOCVD）用のハイエンドエピタキシャルリアクターです。この原子炉は、金属酸化物、シリコン、窒化物の層を堆積する能力を備え、製造プロセスで最高の要件を満たすように設計されています。AIXTRON VP 2400 HWは、高デルタ圧力プロセスチャンバーを装備し、より純粋なガスを提供するハイエンドMOCVDソースユニットと生産歩留まりの向上を備えています。このソースは、材料蒸着の均質性を向上させる高圧プロセスチャンバー内に統合されています。VP 2400HWには、ハイエンドの自動サセプタローディングおよびアンロード装置も装備されています。このシステムは、最大4つのウエハを同時に処理することができ、リアクタント導入の微調整を提供します。このユニットはまた、手動介入や高価な外部ロボットなしでウェーハのロードとアンロードを可能にします。VP 2400 HWには柔軟なウェーハ位置決め機が装備されています。このツールは、ウェーハ上のリアクタントの正確な位置決めを可能にし、また、最大1400°Cまでサンプルを均一に加熱することができるマルチゾーン加熱オプションを備えています。AIXTRON VP 2400HWの先進的な3-Zone煙突設計により、プロセスチャンバ全体の連続的な加熱と冷却が可能になります。また、精度の高い均一なレイヤーの製造も可能です。AIXTRON VP 2400 HWには、プロセスパラメータのさらなる最適化を可能にするプロセスモニタリングおよび制御資産も装備されています。VP 2400HWの革新的な設計により、プロセスチャンバーとソースユニットを簡単に分離して交換することができます。この設計により、チャンバーとソース間の潜在的な汚染を回避することにより、安全性が向上します。VP 2400 HWは高度なMOCVD蒸着モデルで、生産歩留まりの向上、均一なコーティング、プロセス最適化機能を提供します。これは、金属酸化物、シリコン、窒化物層の生産において、生産歩留まりの向上と最高レベルの品質を必要とする製造業者にとって理想的な選択肢です。