中古 AIXTRON TS 19x2" #9386920 を販売中

AIXTRON TS 19x2は、半導体生産に使用するために設計された化学蒸着（CVD）炉です。トップロードのクォーツチューブ、リモートマニュアルリフト、取り外し可能な加熱ゾーンを備えており、ユーザーは最適な性能を得るために原子炉のパラメータを調整して最適化することができます。AIXTRON TS 19x2には、3つの加熱ガスインレットラインと冷媒アウトレットラインが含まれています。AIXTRON TS 19x2の高度な制御装置は、精密な蒸気位相制御を提供することができ、ユーザーはフィルム蒸着パラメータを正確に制御し、原子炉内の温度プロファイルを変更することができます。さらに、AIXTRON TS 19x2は機械化学モジュールを内蔵しており、蒸着レシピと温度、圧力、酸素レベルなどの反応条件を組み合わせることができます。原子炉には、安全で信頼性の高い動作を保証するために、0〜100％から調整可能な3つのプロセスガスセキュリティバルブが含まれています。AIXTRON TS 19x2原子炉は、安全機能の広範な範囲で設計されており、成功した信頼性の高い動作を保証します。原子炉内にはガス漏れモニターがあり、通常の運転濃度よりも低いガスや蒸気を検出し、必要に応じてシステムをシャットダウンすることができます。さらに、原子炉は自動減圧モニターを備えており、重大な圧力変化を検出してプロセスガス入口を遮断し、危険な漏洩の潜在的なリスクを減らすことができます。さらに、圧力コントローラは原子炉内の安定した作動圧力を保証し、安全温度コントローラは温度の変動を制限します。AIXTRON TS 19x2リアクターはユニークなモダンなデザインで、ユーザーはプロセスチャンバーに簡単にアクセスでき、ユニットを素早くセットアップできます。また、高度な使いやすいグラフィックスユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーに詳細なリアルタイムフィードバックと画面上の指示を明確にします。さらに、AIXTRON TS 19x2はリモートアクセスのセットアップと診断機を備えており、ユーザーは世界中のどこからでも堆積パラメータを監視および調整することができます。全体として、AIXTRON TS 19x2は、半導体生産における最高水準の品質を満たすように設計された信頼性の高い安全な原子炉です。さまざまな安全機能を備え、プロセスパラメータを効果的に制御しながら、ユーザーがリモートで原子炉にアクセスして監視することができます。AIXTRON TS 19x2リアクターは、ユーザーフレンドリーな設計により、半導体生産において信頼性の高い効率的な運転を提供します。