中古 AIXTRON Tricent #9396754 を販売中

AIXTRON Tricentは、窒化物系材料の堆積用に特別に設計された3極の化学蒸着（CVD）原子炉です。トリセントは、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウムガリウムなどの揮発性の金属-窒化物化合物の分解によって窒化物の層を堆積するように設計されています。プラズマを生成するために2つの電極を使用する平面型RF/DC駆動プロセスと、DCバイアスを制御するための補助電極を使用します。この構成により、DCバイアスによりより高速な熱化が可能になり、より高い蒸着率が得られるため、プラズマ生産量が増加するため、プロセス性能が向上します。AIXTRON TricentはNH3、 GeH4、およびシランを含む異なった窒化プロセスガスの下で作動できます。この原子炉は、小型原子炉の設計を考慮して、高い蒸着率を達成することができます。非常に高速な蒸着速度スイッチング機能を備えているため、厚い層の蒸着など、プロセスガスや基板温度の急速なスイッチングを伴うアプリケーションに最適です。Tricentはまた、オンザフライ基板温度とガス制御を提供し、実行中のプロセスを監視および最適化することが可能です。AIXTRON Tricentは、自動化されたプロセス最適化機能を利用して、ユーザーはプロセスパラメータをすばやく調整できます。これにより、新しい材料システムやプロセスを処理する際のリアクターの操作方法やダウンタイムを最小限に抑えることが容易になります。さらに、ユーザーは、フィードバックループと診断機能を使用してプロセスを監視し、一貫した沈着速度を維持する高度なインテリジェントプロセス制御システムを利用できます。最後に、Tricentに容易に維持され、きれいになることができるステンレス鋼のハウジングがあります。原子炉内部は、基板が占有していないすべての表面積を掘り下げ、意図的に原子炉にさらされていない表面の沈着を抑制します。その結果、表面品質が向上し、沈着速度が向上し、信頼性と再現性が向上します。