中古 AIXTRON Tricent #9222204 を販売中

AIXTRON Tricentは、今日の半導体産業で必要とされる大量の蒸着用に設計された最先端の蒸着炉です。コストと時間を削減するために構築されたTricentは、統合された垂直システムを使用して、最も効率的な方法で蒸着および熱処理を提供します。AIXTRON Tricentの内部構造は、原子炉室として機能する石英管といくつかのガス入口で構成されています。水晶管にそれ以上の保護のための絶縁材によって囲まれる中心の発熱体があります。さらに、温度を正確に制御し、望ましい結果を達成するために使用される高度の温度調節器があります。正確な温度を確保するために、モニターが設置され、リアルタイムのフィードバックと制御を提供します。トリセントの重要な特徴は、反応性の高い材料と繊細な材料の両方を扱う能力です。精密変調源（PMS）ヘッドとヘビーデューティソース（HDS）ヘッド-AIXTRON Tricentは、さまざまなプロセス化学物質を処理することができます。PMSヘッドは、窒化物、酸化物、ポリシリコンなどの敏感で反応性の高い材料で動作するように設計されていますが、HDSヘッドは金属、合金、ポリマーなどの重い蒸着に使用されます。Tricentには高精度のプラズマ源が搭載されており、プラズマ環境を完全に制御することができます。圧力、流量、電力などのプラズマソースパラメータを操作して、特定のアプリケーションに最適化されたカスタマイズされたプロセスを生成できます。さらに、パターン化されたウェーハ処理も可能で、AIXTRON Tricentは非常に正確で均一な堆積を行うことができます。最後に、6軸ロボットウェーハハンドリングシステムを搭載し、精度と再現性に優れています。このロボットは、大量のウェーハを処理することができ、より高速な処理時間と高い歩留まりを可能にします。全体として、AIXTRON Tricentは、最も要求の厳しい産業環境で最高の生産性と精度を提供するように設計された高度な蒸着炉です。先進的なツールと技術を活用して、Tricentは先進的な材料加工に最適な選択肢になるでしょう。