中古 AIXTRON R6 #9215060 を販売中

AIXTRON R6は、蒸着システムのドイツの大手メーカーであるAIXTRONによって開発されたモノゾーンアーク原子炉です。この原子炉は有機薄膜と低温CVDアプリケーションの蒸着用に設計されています。それは500mm x 400mmの働く容積、円形の内部の壁の設計、1つの地帯アークの血しょう源および二重地帯の塗布のための200W力までの沈殿室を特色にします。それに600°Cまでベーキング温度の20-480°Cからの高温範囲があります。この原子炉は、高性能誘電体および有機半導体フィルムの成膜に様々な利点を提供します。大作業容積は、さまざまな形状とサイズの2つの基板を収容することができます。デュアルゾーンのセットアップを使用して、蒸着プロセス中の効率的な熱管理を保証します。これにより、原子炉室内の熱の蓄積を防止し、堆積物の高い均一性を保証します。さらに、試料の上にあるワンゾーンアークプラズマ源は、高密度の均一なプラズマ場を作り出します。これは、比較的高い蒸着速度で大きな膜厚を達成するのに役立ちます。さらに、R6は操作とメンテナンスが簡単です。高度な診断と視覚インジケータを備えており、ユーザーはプラズマと沈着プロセスを簡単に監視できます。さらに、原子炉にはモジュール式の設計があり、蒸着システムの変更と維持が容易になります。また、過電圧保護やアーク検出などの安全機能も備えています。AIXTRON R6は、有機EL、有機薄膜トランジスタ、センサー、ディスプレイなどの有機薄膜デバイスの成膜に最適です。商用デバイスの製造に成功し、有機膜の腐食特性や構造を研究するプロジェクトにも使用されています。