中古 AIXTRON LYNX-III #9067043 を販売中

AIXTRON LYNX-IIIリアクターは、生産環境で光を変調するために使用されるツールです。具体的には、LYNX-IIIは高温化学蒸着（CVD）用途向けに設計されています。大面積の均一な薄膜を製造するための高度で高効率なソリューションです。AIXTRON LYNX-IIIは中間バッチ、出力の優秀な温度の均等性そして質の平行反応の部屋、です。高度な線形RFジェネレータを使用して優れた材料特性を発揮し、低熱質量設計により放熱・制御が可能です。LYNX-IIIリアクターには、光源と焦点面の両方を調整して所望の処理均一性を確保する多元光学機器があります。光コンポーネントはフィルターシステムによって保護され、特定の波長の入射光を吸収して、製造された薄膜の効率と品質を最適化します。追加のフィルターは、通常、入ってくる太陽放射を吸収するためにも使用されます。AIXTRON LYNX-III原子炉は、最大出力定格の8kWを有し、液体、超臨界ガス、プラズマの形で原料を受け入れることができます。LYNX-IIIリアクタは、カスタマイズ可能な誘電特性と熱特性を備えており、シングルおよびデュアルビームの両方の構成で動作できます。これは、基板温度の勾配を最小限に抑える精密な光学ユニットとリアクタント分布ネットワークの組み合わせにより、基板全体で顕著な均一性を提供します。AIXTRON LYNX-IIIには、緊急キースイッチ、電源切断、温度監視、および潜在的な誤動作をオペレータに警告できる診断LEDなど、いくつかの安全機能が装備されています。結論として、LYNX-IIIは、高度な光学機械と線形RFジェネレータを使用して最大の効率と均一性を得るために、CVD生産のための優れたソリューションです。様々な材料に適応可能で、優れた誘電特性と熱特性を提供します。また、多くの安全機能を備え、正確で安全な製造環境を確保します。