中古 AIXTRON / GENUS Lynx iXP #293619357 を販売中

AIXTRON/GENUS Lynx iXPは、高輝度発光ダイオード（HBLED）の大規模高収率生産用に特別に開発された最先端の産業用CVDエピタキシー炉です。この原子炉は、最新のHBLED生産ニーズの厳しいニーズを満たすように特別に設計されています。GENUS Lynx iXPリアクターは、7ゾーンのクォーツリニアホットウォール（QLH）設計を備えており、成長率とエピタキシー品質を最適化し、優れた表面平面性を提供します。これは、成長サイクリンダ全体で一貫した温度勾配を提供する線形加熱/冷却面を通じて達成されます。さらに、QLH設計は優れた温度安定性を提供し、すべてのプロセスゾーンで10°C ±の均一な加熱温度を提供します。また、高解像度のPIDコントローラと6つのRTD熱電対プローブを含む高度な温度制御システムを備えています。これにより、成長プロセスが非常に高い精度で正確に維持されることが保証されます。この原子炉には、幅広いプロセス・ガス（トリメチルガリウムやトリメチルインジウムを含む）が搭載されており、幅広い材料沈着能力を提供しています。AIXTRON Lynx iXPは、最大の信頼性とパフォーマンスのために設計されています。エラーリカバリ装置、真空パルス保護システム、動的チルトプリアライメントユニットを備えた高度なマイクロプロセッサ制御を備えています。また、原子炉には高度な診断機能が搭載されており、ユーザーは問題のトラブルシューティングと診断を行うことができます。さらに、Lynx iXPリアクターには、過温度および過圧保護などのさまざまな安全機能と、人員の安全が損なわれないようにするための真空ロックマシンが装備されています。さらに、原子炉は高感度の空気ろ過ツールを使用して設計されており、プロセス空間がクリーンでほこりのない状態に保たれるようにしています。AIXTRON/GENUS Lynx iXPエピタキシー炉の高性能で先進的な設計により、次世代HBLEDの製造に最適です。この原子炉は、高収量、大規模生産で高品質で信頼性の高いHBLEDを製造するのに最適な、強力で信頼性の高いツールです。