中古 AIXTRON G5 HT #9256337 を販売中
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ID: 9256337
ヴィンテージ: 2012
MOCVD System
Capacity: 56x2", 14x4", 8x6"
Wiring: 4-Wire with ground
Hydride line: NH3-1, NH3-2, SiH4
MO Source: TMGa-1, TMGa-2, TMAl-1, Cp2Mg-1, Cp2Mg-2, TMIn-1, TMIn-2, TEGa-1, TEGa-2
MFC: Horiba
Temperature monitor: EPI TT
Power supply: 400 / 230 V AC, 3 Phase
2012 vintage.
AIXTRON G5 HTは、先進技術蒸着システムの大手メーカーであるAIXTRON製の高温炉です。AIXTRON G5HTは、Power MOSFET、高性能パワーエレクトロニクス、High Electron Mobility Transistor （HEMT）などの大面積半導体デバイス用途向けに設計された高度なエピタキシツールです。G5 HTは1045°Cまでプロセス温度を維持でき、精密な温度調整を提供します。高品質の薄膜成膜プロセスを確保するために、自動圧力制御や高圧洗浄など、さまざまな設備機能を備えています。システムの中心には、サセプター、石英ハロゲンランプ、RFジェネレーターがあります。サセプターは操作の間に容易なローディングおよび荷を下すことのために設計されています。それに300-1300°Cの温度較差があり、暖房のための赤外線およびハロゲンランプの組合せを使用します。水晶ハロゲンランプは集中された暖房を提供し、滑らかな暖房パターンを提供するために容易に調節可能です。RFジェネレータは、追加の加熱電力を提供し、堆積率の向上とプロセス性能の向上のためのプラズマプロセスを生成するために使用することができます。G5HTはAIXTRON独自のガスデリバリーユニットを採用しており、補助ガスラインを必要とせずに幅広い前駆材料の納入が可能です。これにより、堆積可能な材料の種類に完全な柔軟性が得られます。さらに、AIXTRON G5 HTは窒化ガリウムのドーピングを厚くすることができ、高い電子移動性トランジスタ（HEMT）の製造を可能にします。AIXTRON G5HTの利点には、高温機能、幅広い材料の堆積能力、効率的なガス供給機、および正確な温度制御が含まれます。G5 HTは信頼性が高く、費用対効果が高く、使いやすいツールであり、半導体デバイスの製造に最適です。
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