中古 AIXTRON G5 HT #9238747 を販売中

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製造業者
AIXTRON
モデル
G5 HT
ID: 9238747
System.
AIXTRON G5 HTは、幅広い産業用途向けに設計された最先端の高温CVD炉です。6インチの自動化されたコンパクトなプラットフォームで、高温および真空圧力でさまざまな材料を合成および加工するための信頼性の高い低コストの方法を提供します。高温バーナーを搭載したAIXTRON G5HT炉は、精密な温度制御で最大1200°Cに達する制御環境を提供します。このシステムは高効率であり、半導体、金属、セラミックス、および様々なポリマーを含む、ほぼすべての材料の高密度フィルムを製造するために使用することができます。G5 HTリアクターは、調整可能な前駆体インジェクタ、可変磁場、自動ローディングシステムなど、多くのユーザーフレンドリーな機能を備えています。オペレータはプリカーソルの流れを正確に制御することができ、単一のウエハの均一性で最大の材料蒸着を可能にします。リアクターの温度制御基板ホルダーは、均一な加熱を保証し、サンプル全体に均等に熱を分配します。さらに、調整可能な磁場は、結晶性などの材料特性を向上させることができる磁気ドメインの圧縮と拡大を可能にします。この原子炉はまた、走査型電子顕微鏡(SEM)インサートの恩恵を受け、形成された層をリアルタイムで検査することができます。SEMはサイクルタイムの最適化を可能にし、薄膜形成と表面形態の観察を可能にします。G5HTには、製造プロセスを監視、制御、分析する強力なソフトウェアパッケージが付属しています。ソフトウェアはグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用して、ユーザーが堆積パラメータを素早く簡単に設定および操作できるようにします。さまざまな調整可能なパラメータと高温範囲のおかげで、AIXTRON G5 HTは薄膜成膜、プロトタイピング、製品計測などの幅広い産業用途に最適なシステムです。
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