中古 AIXTRON G4 #9382363 を販売中

AIXTRON G4は、マイクロ波プラズマ強化化学蒸着（MPCVD）システムの性能を向上させるために特別に設計された最先端の原子炉です。AIXTRON G 4は、統合されたプロセス制御、長い蒸着運転、再現可能な蒸着結果により、他の原子炉の中でも際立っています。また、ラボグレードの回転シリンダーチャンバーと絶縁六角形キャビティを備えた特許取得済みの設計があります。この原子炉は、試作生産だけでなく、中量から大量生産にも適しています。G4はマイクロ波エネルギーを利用してプラズマを生成し、フィルム、レイヤー、レイヤーの精密堆積を可能にします。これは、ガス混合物と異なる層の圧力の両方の独立した制御を可能にする複数のソース機能を備えた電子銃を使用しています。ガス混合物は反応性と不活性の両方であり、正確に監視することができ、成長膜の複雑な制御を可能にします。G 4には、圧力センサーと外部で動作するガス制御システムも装備されています。これにより、温度管理とプラズマプロセスパラメータのより良い制御が可能になります。また、2倍効率的な真空システムを搭載しており、再現可能な結果で長い堆積実行を可能にします。そのコアプロセス機能には、正確な膜厚と優れたストイキオメトリーが含まれます。また、高品質なフィルム、優れた電子移動性、優れた成長率を備えているほか、他のシステムでは達成することが困難な特性と組成でフィルムを生成することができます。AIXTRON G4はまた、プラズマパラメータのリアルタイムオンラインモニタリングとデータロギングを特徴とする、その監視および制御機能に優れています。これにより、データと情報を簡単にアーカイブおよび検索できます。結論として、AIXTRON G 4は、MPCVDシステムの性能を大幅に向上させることができる高度で汎用性の高い信頼性の高い原子炉です。その特許取得済みの設計、高品質のフィルム、温度制御および長い蒸着動作は、ナノテクノロジーから半導体製造までのアプリケーションで、プロトタイピングと生産の両方に最適です。