中古 AIXTRON G4 #9181339 を販売中

AIXTRON G4は自動化された汎用性の高い生産レベルのMOCVDリアクターで、幅広い用途に対応した光電子デバイスの効率的で信頼性の高い生産を可能にします。AIXTRON G 4は、エピタキシャル成長プロセスを高精度、高精度、再現性で実行するように設計されています。この原子炉は強力なモーターを備えており、正確な成長プロセスに必要な高速で連続的な動きを提供します。この原子炉には、誘導的に加熱された石英の冷たい壁と、プロセスチャンバー全体に均一な熱暖房を生成するためのタングステンハロゲンランプも含まれています。G4は高度なレシピエディタを使用しており、ユーザーは成長プロセスに対して完全な柔軟性を提供します。このソフトウェアを使用すると、ガスの流れ、オーブン温度、ガスの切断、沈着ステップのタイミングを設定し、正確に制御することができます。このソフトウェアはまた、過剰沈着やガス混合物の問題を防ぐために、量ベースのシャットオフなどの高度な安全機能を提供します。さらに、G 4は局所温度センサによる温度フィードバック制御を備えており、プロセス全体の成長パラメータを正確に制御できます。AIXTRON G4は直径25 cmのプロセスチャンバーで構成され、6cmの成長面があります。AIXTRON G 4リアクターは、長期的な実験のための簡単なメンテナンスとクリーニングのための堅牢な設計を提供します。この装置はまた、真空リモートビューシステムを提供し、ユーザーはユニットを開くことなく基板の位置と成長結果を検査することができます。これは、生産効率と安全性を向上させるのに役立ちます。G4は、アルミニウムガリウムヒ素（AlGaAs）活性層、多層構造、およびその他の化合物半導体材料などのIII-V材料の成長を促進するように設計されています。レーザーや光検出器などの高性能オプトエレクトロニクスデバイスの製造に特に適しています。この機械は、インライン生産のために他のプロセスチャンバーを簡単に相互接続するように設計されているため、手頃なコストでデバイスの大量生産に適しています。