中古 AIXTRON G4 #293592747 を販売中

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製造業者
AIXTRON
モデル
G4
ID: 293592747
MOCVD System.
AIXTRON G4リアクターは、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス材料の製造に使用される高生産性のクローズドループ水平リアクターの一種です。このタイプの原子炉は、GaAs、 GaN、およびAlN材料の製造に広く使用されています。非常に効率的で簡単に調整できるように設計されており、エピタキシャル層の成長に最適な条件を提供します。AIXTRON G 4は、競合する原子炉と比較して優れた熱清浄を誇り、蒸着条件の制御性と再現性を向上させます。G4の動作温度が低いため、高効率で生産時間を大幅に短縮できます。この原子炉の信頼性と堅牢な設計により、長期にわたって継続的に使用することができ、ダウンタイムを排除し、メンテナンスコストを削減します。G 4の可動式スイングアームは、均一なチャンバーの動きと優れた角度の均一性を可能にします。これにより、サイクル時間が短縮され、高い歩留まり、優れたステップカバレッジ、およびウェーハの歪みに対する感受性が低下します。AIXTRON G4は、最大2つの基板ホルダーに対応し、持ち上げ装置により基板操作が容易になります。AIXTRON G 4には、トレンドトラッキング、アラーム、プロセス診断、フィードバック機能のための高度なオートメーション機能が組み込まれており、スムーズな生産プロセスを保証します。強力なネットワーク接続されたPC制御システムは、オンラインおよびオフラインモードからさまざまなアプリケーションの制御と分析を簡単に合理化します。これにより、G4ユニットは、デバイスの種類やR&Dアプリケーションの生産に最適です。さらに、G4のインテリジェントガスデリバリーマシンは、正確なガスの流れと低流動動を可能にします。これにより、正確で均一なエミッタ/コレクタ間隔が確保され、電流の流れが改善されます。さらに、AIXTRON G4には、重要になる前に潜在的な問題を検出するために使用できる単一のウェーハ均一性モニターが含まれています。要約すると、AIXTRON G 4リアクターは、高度なマイクロエレクトロニクス技術を製造するための理想的なソリューションです。それは調節し易く、非常に信頼でき、顕著な熱清浄および自動化された制御を提供します。動作温度が低く均一性に優れたG4は、高い歩留まりと生産時間を最小限に抑えた最高品質の材料を提供します。
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